SURFCOM 3000A

實現表面粗度和輪廓形狀高精度統合量測機

 

 

  • 首屈一指的高精度,分解能達到0.005um,其演算範圍和分解比也達到2,400,000 : 1的高性能
  • 搭載極富彈性擴張功能的東京精密統合量測軟體【TIMS】,一次量測即可分析出表面粗度和輪廓形狀,大幅的提高效率
  • 內建AI功能、尋跡表示功能、重覆量測功能等輔助功能,初學者也能快速上手

 

 

 

 

項目 / 型式

SURFCOM  3000A

量測範圍

Z軸(縱方向)

12mm/50mm測臂24mm/100mm測臂

X軸(橫方向)

200mm

精度

Z軸指示精度

±(0.3+2H/100)umH=量測高度(mm)

Z軸量測精度

5nm/50mm測臂10nm/100mm測臂

X軸指示精度

±(0.5+L/200)umL=量測長度(mm)

真直度精度

(0.05+1.5L/1000)um

其他

電源

單相AC100V±10%50/60Hz

消費電力

450VA

尺寸(W×D×H

2100×900×1650mm

重量

350Kg

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