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項目 / 型式
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SURFCOM 1400D-12
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量測範圍
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Z軸(縱方向)
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800um / 0.02um~25um / 0.0004um
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X軸(橫方向)
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100mm / 0.1um或32,000點
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量測縱倍率
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50∼100K倍、任意、自動
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量測橫倍率
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0.1∼20K倍、任意、自動
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測定力
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0.7mN以下
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真直度精度
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(0.05+1.5L/1000)um L=量測長度(mm)
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驅動速度
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0.03∼6mm/S(8速)
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參數
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粗度34種、形狀24種
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其他
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電源
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AC110V±10﹪、50/60Hz
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消費電力
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300VA
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尺寸(W×D×H)
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1700×500×750mm
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重量
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125Kg
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東京精密 原廠目錄 
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