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SURFCOM
3000A-3DF
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內建多樣的三次元分析功能之
粗度和形狀統合量測機
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- 多工處理將作業效能大幅提升，即使在進行量測中也可同時進行分析處理與列印動作
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- 一次量測最大取樣點可達32,000點（X），而取樣線可達2,000條（Y）可進行高解析度的三次元形狀分析
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- 豐富的三次元分析軟體內建AI功能、尋跡顯示功能、重覆量測功能等輔助功能，初學者也能快速上手
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項目 / 型式
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SURFCOM 3000A-3DF
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量測範圍
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量測面積
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200（X軸）× 100（Y軸）mm
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移動間距（Y）
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0.001~100 mm
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移動次數（Y）
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2~2000回
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精度
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Z軸指示精度
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±(0.3+2H/100)um､H=量測高度(mm)
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Z軸量測精度
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5nm/50mm測臂､10nm/100mm測
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X軸指示精度
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±(0.5+L/200)um､L=量測長度(mm)
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X軸真直度精度
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(0.05+1.5L/1000)um
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Y軸真直度精度
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(0.05+3.0L/1000)um
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其他
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電源
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單相AC100V±10%､50/60Hz
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消費電力
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450VA
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尺寸（W×D×H）
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2100×900×1650mm
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重量
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370Kg
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東京精密目錄
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