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SURFCOM
3000A
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實現表面粗度和輪廓形狀高精度統合量測機
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- 首屈一指的高精度，分解能達到0.005um，其演算範圍和分解比也達到2,400,000 : 1的高性能
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- 搭載極富彈性擴張功能的東京精密統合量測軟體【TIMS】，一次量測即可分析出表面粗度和輪廓形狀，大幅的提高效率
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- 內建AI功能、尋跡表示功能、重覆量測功能等輔助功能，初學者也能快速上手
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項目 / 型式
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SURFCOM 3000A
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量測範圍
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Z軸（縱方向）
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12mm/50mm測臂､24mm/100mm測臂
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X軸（橫方向）
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200mm
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精度
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Z軸指示精度
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±(0.3+2H/100)um､H=量測高度(mm)
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Z軸量測精度
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5nm/50mm測臂､10nm/100mm測臂
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X軸指示精度
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±(0.5+L/200)um､L=量測長度(mm)
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真直度精度
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(0.05+1.5L/1000)um
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其他
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電源
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單相AC100V±10%､50/60Hz
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消費電力
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450VA
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尺寸（W×D×H）
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2100×900×1650mm
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重量
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350Kg
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東京精密
原廠目錄 
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