Opt-measure

採用白光干涉方式的非接觸式干涉位移感測器

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特點

 

非接觸式干涉位移感測器

採用白光干涉方式。
可直接將白光打在工件上進行測量作業。
不須使用鏡子或三角稜鏡。

最適合用來監測裝置/設備

本感測器最適合測量裝置或設備的細微動作,可長期「監控」裝置/設備。

  • 動作距離大(600mm)

  • 測量範圍廣(±30mm)

  • 高精準度(±5μm:15 ∼ 30℃)

優秀的環境抗耐性

感測器部位採用光纖及光學類零件,即使在輻射線環境下亦可正常使用。
感測器及控制部位之間的距離,最大可達到3000m。

  • 使用溫度範圍(15∼35℃)

  • 在輻射線環境下亦可使用

  • 最大光纖長度 3000m

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