
將粗度測量及高精度輪廓測量合為一體

採用雷射光繞射光學尺度,達成全範圍的高分辨率。
可在高精確度、高分辨率下測量/分析輪廓。
透過線性馬達傳動,達成高精確度、高速移動。
降低振動量,高倍率下亦可穩定測量。
測量表面粗度用的小型高功能檢測器、及高精度輪廓檢測器皆為標準配備。
備有全功能合一、省空間的DX型、以及既有的單功能式SD型供用戶選擇。
輪廓檢測器為具備雷射光繞射光學尺度的高精度型檢測器。
最小分辨率達到0.025μm,能夠在全範圍內執行Z方向檢測範圍為50mm的高精度測量。
測量粗度時的測量範圍達到1000μm,可評估細微輪廓或進行經初步校正處理後的測量作業。
能支援高精度加工零件的高倍率測量作業,測量倍率最高可達50萬倍。
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