SURFCOM 5000DX
世界最高水準的高精確度、高速、高分辨率 -徹底追求表面性質/形狀的分析性能-

特點
達到世界最高水準的0.3nm分辨率
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檢測器採用高穩定雙光路型He-Ne雷射干涉儀。
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在大範圍下仍具備高分辨率。
傳動部配備線性馬達(已取得專利)
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透過線性馬達傳動,達成高精確度、高速移動。
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降低振動量,高倍率下亦可穩定測量。
測量1次便可分析粗度及輪廓
可在保持高精確度的前提下,提升測量效率
在維持精確度的前提下成功達到大型化
安裝完設備本體後亦可加裝CNC工作臺
高穩定雙光路型雷射干涉感測器

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配備全新開發、運用東京精密公司的重要技術「光纖雷射干涉測距系統」、分辨率可達0.3nm的高穩定雙光路型雷射干涉感測器。
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動態範圍及分辨率比為43 333 000:1 ,只要掃描一次便可評估大範圍的輪廓形狀及該形狀中所隱藏的細微表面形狀。
大範圍、自動測量

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掃描工件後會偵測工件的傾斜度,並讓傳動部自動執行水平校正動作,讓工件和傳動部平行。
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測量範圍大,橫向為200mm、縱向為13mm
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能以±45° 自動控制傳動部的傾斜度
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可透過教導、重現功能,自動處理自開始測量起至列印為止的連續流程。
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*傳動部位傾斜裝置為SURFCOM 5000DX-T、SD-T型的標準配備。
外部視圖
SURFCOM 5000DX

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