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1.白光干涉檢測機新產品與最新技術簡介檔案下載(104 -10) 2.白光干涉儀的檢測應用 : 結合光學顯微鏡與白光干涉儀的功能的掃描式白光涉顯微鏡,結合顯微物鏡與干涉儀,不需要複雜光路調整程序,兼顧體積小, 奈米解析度、易學用等優點,可提供垂直掃描高度達400μma之微三維量測,適合各種材料與微元件表面特徵尺寸檢測。應用領堿包含 :
檢測範例
高速精密的干涉解析軟體(ImgScan) �� 系統硬體搭配ImgScan前處理軟體自動解析白光干涉條紋。 �躩囿蔑物袑悛R度可達0.1mm。 �飌玟t的分析演算法則,讓您不再苦候量測結果。 �躩囿蔣蓬y範圍的設定輕鬆又容易。 ��10X, 20X與50X倍率的物鏡可供選擇。 �虪郊xXYZ位置數顯示,使檢測標的尋找快速又便利。 �蠿膉滶�/自動光強度調整功能以取得最佳的干涉條紋對比。 �蠿蒺的諞蛌�PVSI與高速的VSI掃描量測模式供選擇。 �蠿蓎M利的解析演算法購可處理半透明物體的3D形貌。 �蠿膃菾妐匟I功能。 �虪i自行設定掃描方向。
專業級的3D圖形處理與分析軟體軟体(PostTopo) �� 提供多功能又具親和介面的3D圖形處理與分析。 �� 提供自動表面平整化處理功能。 �� 提供階高標準片的軟體自校功能。 �� 深度/高度分析功能提供線型分析與區域分析等兩種方式。 �� 線型分析方式提供直接追溯ISO定義的表面精糙度(roughness)與起伏度(waviness)的量測分析。可提供多達17種的ISO量測參數與4種額外量測數據。 �� 區域分析方式提供圖形分析與統計分析。具有平滑化,銳化數位濾波等多種二維快速傳利葉轉換(FFT)處理功能。 �� 量測分析結果以BMP等多種圖形檔案格式輸出或是以Excel文字檔案格式輸出。
易操作又抗振的機身結構
◎ 微米精度數顯示XY移動平台 ◎ 抗震花崗岩底座 機台規格
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